극미량 분석의 검출한계를 결정하는 일차요인은 장비의 검출능력보다는 시약등에 의한 바탕값으로 결정됩니다. 또한 바탕값 결정요인은 불특정 오염원으로 작용하여 분석결과의 정확성을 낮추게 됩니다.
극미량 분석
- - 고순도시약
- - 청정기자재 및 세정기술
- - 오염관리
- - 고순도 시약 : HNO3, HCℓ, HF, H2O2, NMP
- - 유기세정세(Metal Free Detergent)
- - 무기세정제(Non-Corrosive Metal Cleaning)
고순도시약
| Grade | TM(ppt) | Na(ppt) | Fe(ppt) |
|---|---|---|---|
| HP-100 | < 5,000 | < 100 | < 50 |
| UP-10 | < 100 | < 5 | < 5 |
| SUP-1 | < 50 | < 1 | < 0.5 |
※ HP-100 각원소 0.1ppb이하, UP-50 0.05ppb이하, UP-10 0.01ppb이하, SUP-1 0.001ppb 이하
※ Analysis method : ICP-MS
※ 기타제품 SPEC에 대한 문의사항은 별도로 연락바랍니다.
